“晶圓清洗線突發(fā)故障！價值千萬的精密設(shè)備管路被腐蝕穿孔，高純化學(xué)品泄漏污染整批硅片… 元兇竟是清洗液中痕量氟離子失控積累！”某芯片制造廠設(shè)備總監(jiān)王博士的慘痛教訓(xùn)，揭示了工業(yè)制程中氟離子管控的極端重要性。在半導(dǎo)體、光伏、高端顯示面板、特種化工等領(lǐng)域：

• “蝕骨”氟離子：?即使ppb（十億分之一）級別的氟離子，在高溫、高純環(huán)境下也能緩慢腐蝕不銹鋼、石英、陶瓷等設(shè)備核心部件，造成穿孔、泄漏、污染。

• “污染”殺手：?氟離子殘留污染產(chǎn)品（如晶圓、玻璃基板、高純化學(xué)品），導(dǎo)致性能劣化、良率暴跌、批次報廢。

• “堵塞”元兇：?氟化物結(jié)晶沉積堵塞精密噴嘴、閥門、管道，降低效率甚至引發(fā)故障。

頂級除氟劑，如何成為制程“除氟特工隊”？

• “ppb級”深度凈化：

  • 超強吸附/沉淀能力：?針對高純水、清洗液、蝕刻液再生液、循環(huán)冷卻水等，能將氟離子深度去除至ppb級（<100ppb甚至<10ppb），滿足半導(dǎo)體等超純環(huán)境苛刻要求。